千級潔凈棚標準

1.空氣質量要求:潔凈棚內空氣中顆粒物濃度應小于0.5微米/立方米，

微生物濃度應小于1個/立方米。

2.溫度和濕度要求:潔凈棚內溫度應保持在18℃~26℃之間，相對濕度應控制在45%~65%之間。

3.空氣流速要求:潔凈棚內空氣流速應保持在0.25m/s~0.5m/s之間。

4.地面和墻壁材料要求:地面和墻壁材料應為防靜電材料，并且易清洗、無塵埃積累。

5.照明要求:照明強度應達到300~500LX，并且光源不得產生紫外線和紅外線輻射。

6.進出口通道要求:進出口通道應設置空氣鎖門或風淋室，以防止外

界污染物進入潔凈棚內。